技术编号：6281909
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于气路系统控制的装置和方法，特别涉及在半导体行业设备中用于气动控制的装置和方法。背景技术 在半导体或微电子行业的各类加工设备中都会涉及一些气路系统，如在光刻机中实现硅片传输的气路及气动控制系统。为了保证硅片在传输过程中的稳定性以及硅片在不同载体上的可靠交接，目前都采用真空吸盘固定硅片，在交接过程中，吸盘的开关利用流量可控、开关自如的气路系统控制。Festo公司Werner博士曾著有《气动技术》一书，书中涉及的各种各样的气动回路控制方案都是基...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。