技术编号:6282314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种自动控制系统,尤其涉及一种用于集成电路生产线的 AMHS系统(Automatic Material Handling System,自动物流系统);此 外,本发明还涉及上述用于集成电路生产线的AMHS系统的实现方法。背景技术如图1所示,传统的用于集成电路生产线的AMHS系统,包括HOST 主机系统(AMHS的中央计算机控制系统,通常由多台服务器构成,用于 对全厂的生产设备及工艺流程实行自动控制及运行管理)、ONLINE终端(工厂自动化系统的通...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。