技术编号:6282320
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统。 背景4支术半导体集成电路的制造过程中,各工艺步骤所使用的制造机台的性能好 坏是直接影响半导体产品成品率的重要原因之一,因此,每天对制造机台进行监测和控制是非常有必要的。对制造机台的监测过程包括测量在制品, 获得制造机台的监测数据;对制造机台的控制过程包括根据制造机台的监 测数据判断制造机台的性能是否符合标准,在制造机台的性能不符合标准时 调整制造机台并控制其达到最佳化。上述监测过程中,测量装置测...
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