技术编号:6283754
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种统括管理装置,用于管理例如液晶显示器和有机EL(电致发光)显示器等平板显示器(FPD)、或半导体晶片等半导体器件的检测、制造生产线上布置的多个检测、制造装置的工作条件的信息和维修信息。背景技术 例如,在液晶显示器的检测、制造生产线上,布置了各种检测装置和制造装置。其中,检测装置例如有图形检测装置、线宽检测装置、宏观检测装置、微观检测装置、缺陷观察装置、反射光目视检测装置、透射光目视检测装置和微观结果观察装置等。并且,制造装置有例如溅射装置、C...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。