技术编号：6283770
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于半导体组件制造的领域，尤甚者，是有关于依据批量与工具可用状态衡量值计划生产批次的方法与装置。背景技术 在半导体工业中有一股持续的动力使其不断地想要增加如微处理机、内存组件等集成电路组件的品质、可靠度、和生产量。此动力是导因于消费者对于能更可靠地操作计算机和电子装置的高品质要求。这些要求已经导致于对如晶体管等半导体组件的制造以及对整合有此种晶体管的集成电路组件的制造的持续改善。除此之外，降低一般晶体管组件在制造上的缺点亦可以降低每个晶体管的制造...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。