技术编号：6285627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造装置用旋转机的寿命的预测技术，特别是涉及预测真空泵等旋转机的寿命的寿命预测装置、寿命预测方法以及具有该旋转机的制造装置。背景技术 为了有效地进行半导体器件的制造，半导体制造装置的故障诊断变得重要起来。另外，近年来，在系统LSI中，特别是少量、多品种的生产倾向增强，与此相应的灵活高效的半导体器件的制造方法也变得必要起来。高效的半导体生产中有采用小规模的生产线的方法。但是，如果只是单纯地使大规模生产线减小则会产生制造装置的运转率降低等问题，因此存...
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