技术编号:6286207
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,关于半导体元件、磁存储装置、平板显示器、印刷基板等电子设备产 品,以及汽车、电梯、扶梯、建筑机械等工业机械产品,制油、制药、食品加工等的连续加工品 等产品,提高由多个工序构成的生产系统的生产效率的方法以及系统。背景技术半导体元件、磁存储装置、液晶显示器、等离子体显示器、印刷基板等尖端设备产 品,由于种类的多样化和短寿命化,当务之急是确立多品种少量生产体制。在成为这些尖 端设备产品的生产的核心的制造中,重复进行在晶圆或玻璃基板等原材料上涂布感光性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。