技术编号：6288127
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体处理系统，尤其涉及使用图形用户接口(GUI)配置和使用动态传感器的半导体处理系统。背景技术 计算机一般用于控制、监视和初始化制造过程。如果半导体制造厂中存在由再入的晶片流、关键的处理步骤和所述过程的可维护性的导致的复杂性，计算机对于这样的操作是理想的。使用各种输入/输出(I/O)装置来处理和监视处理流程、晶片状态以及维护调度。在半导体制造厂中具有多种工具用于完成这些复杂的步骤，从关键的操作例如蚀刻到批处理和检验。大部分工具安装使用显示屏幕来...
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