技术编号：6290314
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及调节输送到磁控管的电源领域的改进，该磁控管形成产生超高频(UHF)电磁波的装置的一部分，所述调节是瞬时微波功率给定值的函数。 本发明提出的改进在热塑性材料的容器的至少一个面上沉积涂层如栅栏 效应涂层方面具有优选但不排外的应用，其中，所述装置借助于低压等离子体 通过用位于UHF波段的超高频电磁波在容纳所述容器的圆柱形抽空腔中激励 气体前体以沉积涂层，所述UHF电磁波由UHF波发生器发出，所述UHF波 发生器包括具有阳极的磁控管和连接到所述阳极用于向...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。