技术编号:6290365
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以设定压力调节流体的调节器。背景技术以往,半导体制造装置制造的半导体中,供给至晶片的作用气体 的流量或压力会使产品质量产生偏差。因此,为了以设定压力控制供 给至晶片的作用气体的压力,半导体制造装置装载有调节器。调节器在PCTFE制阔座中可以接触或分离地设有提升阀体,根据 提升阀体与阀座之间的阀开度控制流入压力室内的流体。调节阀通过 调整阀开度以使压力室的内部压力与设定压力一致,从而能够以设定 压力调节作用气体的压力。提升阀体没有设置滑动部,以便能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。