技术编号:6292889
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路生产线的自动化控制系统,为此本发明还涉 及一种基于上述系统的控制方法。背景技术在现有的集成电路生产线的CIM/CAM (Computer Integrated Manufacture/Computer Auxiliary Manufacture,计算机辅助制造)等自动 化控制系统中,由于设备状态(正常/故障)和作业质量(作业时间、作业 稳定性、制成品的工艺品质)的变化频繁且随机,控制系统很难自动且有 效地分配作业,因此常常对集成电路生...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。