技术编号:6293012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米科学领域,尤其涉及一种用于扫描隧道显微镜的纯钨材质 微纳探针制备控制系统。技术背景扫描探针是微纳形貌超精密测量设备的关键部件,制备高性能的探针对提 高测量和加工的精度有至关重要的意义。目前,探针的制备多采用电化学腐蚀 方法,此方法在国内外存在以下三个缺点1)钨丝浸没深度不精确,总体偏差 大;2)最优电解电流的控制策略未能确定;3)针尖形成点的检测不够准确, 回路电流切断不够及时。传统的探针制备方法很大程度上依赖的是经验,而且全过程都需要人的参...
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