技术编号:6294741
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种。该方法包含下列步骤通过至少一气体将一腔室充气至一预定压力,其中该预定压力大于1atm并且小于或等于50atm;使该腔室内的该气体流至一可回授温度调整装置,其中该可回授温度调整装置包含一冷却器以及一气体返回装置;通过该冷却器来冷却该气体;以及通过该气体返回装置使该气体返回到该腔室内。专利说明[0001]本发明关于一种温度调整方法,尤其关于一种。背景技术[0002]在各种工业的制程之中,冷却制程与加热制程往往扮演着重要的角色,并且经常需要在这些...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。