技术编号：6295309
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统，包括系统初始化模块、通信模块、传输任务处理模块、调度模块、执行模块、物料跟踪模块、错误与异常处理模块。本发明所提供的多腔室晶圆加工设备传输控制系统一方面实现了多腔室加工设备中晶圆传输控制的自动化过程，另一方面系统的各功能模块设计充分考虑到半导体装备制造过程中对物料传输过程的共性需求，且为传输设备和控制系统提供相应软件接口，对多腔室晶圆加工设备传输控制方法具有普遍的参考意义和二次开发价值。专利说明一种多腔室晶圆加...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。