技术编号：6295448
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体测量设备，所述半导体测量设备包括用于检测现场参数的至少一个传感器；微控制器，其与所述至少一个传感器通信地连接，其中，所述微控制器支持无线通信协议并且所述传感器与所述微控制器通过无线通信协议通信，以便采集所述半导体测量设备各处的传感器数据。依据本发明的半导体测量设备采用无线通信协议取代了传统的有线电缆，从而大大降低了半导体测量设备的结构上的复杂度，便于组网，在某个传感器发生故障时也能够比较简单地实现故障元器件的更换，而无需涉及复杂的布线问...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。