技术编号:6295631
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种用于半导体加工过程监控的统计过程控制方法,步骤如下步骤1,选择半导体生产加工中需要监测的工序并确定工序的关键技术质量参数,分析确定能够影响质量参数的因素;步骤2,历史数据库查找并导入质量参数数据,对质量参数与影响变量之间的关系进行建模,应用统计方法确定对质量参数影响最大的因素,将对质量参数的监控转换为对影响因素的监控;步骤3,监控生产加工工序,当检测到加工工序产生的异常波动时判断是否为加工中出现的可控异常;当出现不可控的异常时及时进行纠正。本...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。