技术编号：6295789
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，真空吸附工作台处于负压状态；完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于...
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