技术编号:6296747
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,先建立SECS信息模板集合,然后建立设备端和主机端的SECS连接,再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。SECS信息模板集合包括设备端SECS信息模板集合和主机端SECS信息模板集合,设备端SECS信息模板集合包括多个设备端SECS信息模板,设备端SECS信息模板分别为每个生产功能配置,主机端SECS信息模板集合包括多个主机端SECS信息模板集合,SECS信息模板包括生产功能所对应的国际SEMI标准E5中的SECS信息格式及必需具有的所有...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。