技术编号:6297018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法,包括对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项模型,并确定已建立的权重系数取值范围;建立监督控制项,用于加强LPCVD设备的温控时滞系统的稳定性。同时,本发明也公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正装置,包括控制模型模块,用于建立LPCVD设备各个温控区的包含时滞误差的PID控制模型;权重PID控制模型模块,用于建立包含处理...
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