技术编号：6299167
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种储存柜充气系统的无线监控系统，包含一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；至少一个充气模组，其分层设于柜体内部且分别具有一供载具摆置的基体，并于基体上分别设有至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；一供气模组，其通过一导气管路与充气阀件连接；一排放模组，其通过一导气管路与排气阀件连接；至少一个流量监控模组，其分别设于充气模组上；一无线接收模组，其设于柜体内部；一处理模组，其通过连接线与无线接收模组连接。本实用新型由于充气模组的流量模组以无线...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。