技术编号:6301760
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种基于MEMS传感器的质量流量控制器的结构,包括底座(2)和流量调节阀(5),在底座(2)内设有流体通道,流量调节阀(5)串联在流体通道的出口(9)附近。该流体通道包括设在底座(2)前端与后端之间依次排列的/入口(1)、入口锥管段(3)和直管段(7),在直管段(7)与出口(9)的相邻处与流量调节阀(5)串联连接;在直管段(7)的内表面设有MEMS传感器(4)。本实用新型的优点是MEMS流量传感器直接设在流体通道的边缘,减少了自身对流场的干扰;流体通道的直...
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