技术编号:6302952
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种方法包括,响应于检测到与批量过程相关联的事件,在第一控制器处(104a-104b、304a-304b),初始化(405)控制配方的至少一个过程步骤,所述控制配方源自与批量过程相关联的主配方。该方法还包括,在第一控制器处,执行(407)控制配方的所述至少一个过程步骤。该方法进一步包括,在执行控制配方的所述至少一个过程步骤时,在第一控制器处,初始化(407)控制配方的至少一个第二过程步骤。初始化源自主配方的控制配方的所述至少一个过程步骤,可以包括仅拷贝开始...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。