技术编号:6303742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体设备的安全门互锁系统,包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元;门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中,在正常工作状态下,半导体设备的物理门开启,控制门开关单元断开;互锁旁路模块并接在门开关单元上;其中,在特殊工作状态下,当半导体设备的物理门开启,互锁旁路模块被触发导通,同时门开关单元被屏蔽;处理单元接收互锁旁路模块导通信息,启动旁路警示信号单元工作。因此,本发明可以根据半导体设备所需的特殊工作状态,通过增加互锁旁路模块,使设备门对与其...
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