技术编号:6304894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体处理系统中的数据管理,更具体地,涉及使用数据预填充(pre-population)技术管理数据的方法。背景技术 在诸如半导体或显示制造等的等离子体处理的各种阶段中,关键过程参数可能有很大改变。处理条件随时间而变化,其中关键过程参数中的最轻微的变化会产生不希望的结果。刻蚀气体的组分或压力、处理室或者晶片温度会很容易发生小的变化。在给定时刻测量和监视这些过程参数允许累积和分析有用数据。过程控制反馈可以被用来调节过程参数或者确定某些处理材料的耐久...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。