技术编号:6306957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。基于Vxworks操作系统的双工件台光刻机控制系统通信装置,属于嵌入式光刻机控制系统通信。本发明为了解决现有双工件台扫描光刻机与上位机的通信技术由于不能保障数据通信的及时性,影响扫描光刻机的操作精度的问题。它包括上位机、工控机功能模块、运动控制卡、同步控制卡和信号采集板卡,上位机基于MFC构架编写的程序模块实现,工控机功能模块作为下位机,其内部搭载了Vxworks嵌入式实时操作系统,作为整个双工件台扫描光刻机通信系统的中枢,向上通过TCP网络通信协议和上位...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。