技术编号:6307635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,该方法包括根据给定的膜厚标准值和标准差,建立针对检测受控过程错误和非受控过程错误两个统计过程控制图,对镀膜工艺的加工过程是否异常做两次判定;使用针对受控过程错误的控制图对数据进行一次判定;如果数据一次判定正常,使用针对非受控过程的控制图对数据进行二次判定,控制图使用指数加权控制图;如果二次数据判定正常,将经过加权处理的数据保存;如果判定结果不正常,调整加权系数,降低历史值权重,使用修改后的权重值重新计算数据并保存,以此降低历史值对下次判定的影响...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。