技术编号:6309152
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,所述刻蚀设备包括反应腔、气柜,压力保护系统包括压力传感器、设备主机、压力控制器。压力控制器与压力传感器、设备主机、气柜均相连,压力控制器能够接收压力传感器测得的气压数据并传送给设备主机,设备主机用于判断气压数据是否在预定范围内,并根据判断结果控制气柜是否继续向反应腔内供气。压力控制器能够判断设备主机是否死机,当压力控制器判定设备主机死机时,压力控制器能够判断气压数据是否在预定范围内,并根据判断结果控制气柜是否继续向反应腔内供气。本发明能够...
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