技术编号：6309539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学机械抛光，特别涉及一种化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统。背景技术由抛光机的要求，研发一种专用的传输机器人是必要的。国外公司和研究机构在传输机器人及其关键技术的研究与开发，取得了丰硕的成果，并形成了完整的产品体系。但国内传输机器人的研究和开发相比于国外较落后，在精密自动传输人系统方面的研究也很少。目前，应用在国内IC生产线上的自动传输人系统几乎全部是从国外进口，而且国内的传输机器人在稳定性、可靠性和自动化程度上与国际水平有一定...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。