技术编号:6310722
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据压力测量例如半导体加工中使用的材料气体等的流量的流量测量装置以及使用了该流量测量装置的流量控制装置。背景技术所述种类的流量测量装置和流量控制装置,通过设置流体阻力部件,根据该流体阻力部件前后的压力来计算出流量(在半导体加工等中,当如在下游连接有真空室时等那样下游压力低的情况下,仅使用上游的压力就可以高精度计算出流量)。公知的有下述的装置形成作为集成块的一个共通的主体单元,并在该主体单元上安装所述流体阻力部件和压力传感器,从而形成一体,在所述集...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。