技术编号:6312907
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种可自调谐的全固态微波源MPT、自调谐装置及控制方法,微波等离子体炬(4)包括耦合天线(5)、调节件(6),装置包括微波源,控制模块(2),传动装置(3)。所述微波源与所述耦合天线(5)相连,调节件(6)与所述传动装置(3)相连,所述传动装置(3)与控制模块(2)相连,所述控制模块(2)与所述微波源相连。其中,所述微波源产生微波电磁场为微波等离子体炬(4)提供微波能,同时从耦合天线(5)获取微波等离子体炬(4)的反馈信息,微波源将反馈信息中的...
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