重离子辐照装置的制作方法技术资料下载

技术编号:63185

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本实用新型属于一种辐照装置,具体涉及一种具有重离子束流散焦装置的辐照装置。通常,利用加速器加速的离子束进行辐照工作时,如用质子束辐照电力半导体器件,以改进其性能;用重离子束辐照PC膜或PET膜来制造各种用途的核孔膜等,为了得到具有一定大小束斑和流强的均匀束流,需要在加速器束流管道上安装电或磁两维扫描装置。这种电磁扫描装置对能量越大、越重的离子束要求扫描装置的电源功率越大,磁场强度越强,电源功率要几千瓦到几十千瓦,磁场强度峰值达0.5泰斯拉。为了得到较好的束流均匀度,如80%~90%以上,扫描电源的扫描频率一般需要...
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