技术编号:6320300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种稳流控制装置,特别涉及一种对气体流量进行精确稳流控制的仪器。背景技术现有的气体质量流量控制设备,很多采用电磁调节阀作为执行机构,与流量检测传感器配合,通过闭环控制,使气体流量恒定在设定值上,如公开号为CN2243092的中国专利说明书就公开了这样一种在气体流量控制器中使用的电磁调节阀,其原理是来自测量电路的电压信号与设定值进行比较,其差值通过控制电路的积分调节电路的调节作用给电磁调节阀发出控制信号,直至电磁调节阀使气体流量等于设定值。但只...
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