技术编号:6322373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种探针台控制装置及其控制方法,尤其涉及。背景技术在现有技术中,探针台的使用主要应用于半导体行业以及光电行业的测试,探针台从操作上区分可分为手动、半自动和全自动的,从功能上来分,可分为高温探针台、低温探针台、RF探针台、LCD平板探针台等,在探针台运作的时候,需要有人实时监控是否有异常情况以及进行相应的测试操作,一般探针台都是进行通宵测试的,需要人员进行通宵的监管,而且监管人员只有在监管室的时候才能实行对探针台的监控。发明内容本发明的目的是提供,...
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