技术编号:6322466
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种工业处理,更详而言之,关于根据状态估算结果调整经处理工件的采样率的方法。背景技术 半导体产业中有股不停驱动的力量驱动着譬如微处理器、内存装置等的集成电路装置的品质、可靠度、及生产率的增加。此股动力系由消费者对于更高品质并更可靠运作的计算机与电子装置的需求所推动。这些需求导致譬如晶体管的半导体装置制造,以及包括这些晶体管的集成电路装置的制造的不断改良。并且,减少典型晶体管的组件制造中的缺点亦可降低每个晶体管的整体成本,以及包括这些晶体管的集成...
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