技术编号:6322476
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显影,尤其涉及用于半导体工艺中的。背景技术显影机是半导体工艺中的一种常用设备,用于将显影液喷在涂覆有光刻胶的基板上,以进行显影。显然,为保证显影机的连续生产,需对显影机的显影液罐中的显影液进行及时补充。如图1所示,在现有的显影机(例如SVG 90S涂胶显影机)的加显影液的系统中,带有控制11阀的输液管道1连接显影液供液系统3 (例如场务供液系统)和显影机的显影液罐2,显影液罐2中设有与报警装置5相连的液位传感器4,当显影液罐2中显影液的液位降到低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。