技术编号:6323658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密加工方法,特别是微机械零件的三维加工方法。背景技术 微尺寸零件的加工技术主要有如下五种方法LIGA加工技术、三束加工技术、微细电火花加工技术(EDM)、RPM(Rapid Protyping/PartManufacturing)技术和基于扫描探针显微镜的加工技术。这里主要叙述基于扫描探针显微镜的微加工现状与发展。1.LIGA技术是由半导体光刻工艺派生出来的采用光刻方法一次生成三维空间微机械构件的方法,它存在的缺点是LIGA工艺所需要的X射线...
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