技术编号:6324600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及振动控制装置,尤其涉及由形成在结构体上的线性马达可动子等可动部驱动的振动控制装置。背景技术 一般,线性马达可动子等可动部用于工作台定位等,随着加工尺寸的微细化要求,需要很高的定位精度。安装该工作台的结构体,在实现精密性能的情况下,为了消除地板振动的影响,借助防振机构固定在地板上,所以处于非常不稳定的状态,当可动部受到驱动力而驱动时,在与驱动方向相反的方向上产生与驱动力相同大小的反作用力。在存在该反作用力的状态下,结构体振动,该振动传递到工作台上,...
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