技术编号:6325263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械装置,特别是涉及对其减振机构的改进。背景技术 在诸如三维测量机等精密机械装置中,具有移动体。人们对这种精密机械装置,提出了高速化、高精度化的要求,而随着向高速化、高精度化发展,很容易产生振动。特别是精密机械装置,要求其性能的离散性得到改善。作为精密机械装置性能离散的原因,振动的问题受到重视。如果能够抑制这种振动,可使机械装置进一步实现高速化、高精度化。过去,为实现精密机械装置的高速化、高精度化,曾考虑利用弹性橡胶或弹簧来使振动衰减。此外,过去...
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