技术编号：6326619
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气流压力调节器，并且更特别地涉及自对准、轴向约束的调节器蕈形阀芯(valve poppet)以及包括该自对准轴向约束调节器蕈形阀芯的相关调节器阀组件和调节器。本发明被特别地应用于在相对低流量的系统中使用的压力调节器，例如在制造半导体器件时使用的调节器。背景技术气流压力调节器是将相对高的输入压力减小至可调整的相对恒定的较低出口压力的器件。图1描绘了常规压力调节器100。压力调节器100可以包括上或范围组件10和下组件20、以及位于上和下组件之间的隔...
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