技术编号：6326997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术多晶硅作为一种半导体材料，目前可以用作重要的光伏材料，光伏材料能将太阳能直接转换成电能，例如太阳能电池。目前生产多晶硅的主要方法之一是改良西门子法。改良西门子法通过气相沉积法产生棒状多晶硅。现有技术中已知的西门子法还原生产工艺为汽化的三氯氢硅与载气氢气按一定比例混合引入多晶硅还原炉；在放置于还原炉内的棒状硅芯两端加以电压；在一定的温度和压力下，在高温娃芯表面，三氯氢娃与氢气混合气反应生成兀素娃，并沉积在娃芯表面， 逐渐生成所需规格的...
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