技术编号:6327402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对减振装置进行控制的系统,具体地说,是指一种用于六自由度超磁致伸缩主动振动控制平台的实时的计算机振动主动控制系统,该系统适用于对微幅高精度主动振动减振控制。背景技术 在工业领域中的一些精密仪器上,控制系统对基座稳定的要求十分高,比如半导体加工、精密光学仪器加工等,对基座振动的水平要求平动以微米计,转动以微弧度计。在对基座的振动输入和基座平台的响应进行实时测量、实时测试的基础上,通过计算机提供的控制算法和超磁致伸缩作动器使其在基座低频微幅振动的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。