技术编号:6327451
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多轴同步运行控制系统,具体涉及一种可以应用于一维纳米级精度变姿态精密运动平台的精密运动控制系统,属于几何量计量。背景技术目前,应用于纳米级精密测量的仪器,其测量范围普遍很小。这就要求对被测对象进行精确安装,并对样品的安装姿态进行一定范围的调整。现有普遍使用的一维精密运动平台,有的虽然能实现大行程,但只能达到几个微米的定位精度,如滚珠导轨平台;有的虽然可以实现纳米级的定位精度,但只有几十个微米的行程,如压电陶瓷微位移运动平台。这些平台都很难同时...
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