技术编号:6327522
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及行驶台车系统的自我诊断。 背景技术在半导体工厂等中使用着用桥式吊车等行驶台车搬运FOUP (晶圆搬运盒)等物品的系统。这样的系统中要求保持整个系统高的设备运转率,不单单是搬运物品,还需要预防维护构成系统的行驶台车和行驶轨道等地面侧设备。另外,在本说明书中将行驶轨道、非接触供电线路等行驶轨道的附带设备、装载口、物品临时存放用的缓冲区(暂存区)等地面侧设备称为行驶台车系统的“基础设施”。另外,关于行驶台车系统的自我诊断,专利文献1(JP4117625...
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