技术编号:6328343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及电子设备制造,并更为具体地,涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成。背景技术 制造执行系统(此后称为“MES”)跟踪在电子设备制造装置中(此后称为“Fab”)的原料(例如,基底批量和载具)及其相关处理流程。MES也跟踪在基底批量或载具处理中使用的Fab中资源的状态(例如,工具,存储设备,运输设备,机器人等的状态),每当对批量或载具的基底的处理完成一定的处理步骤(例如,使用特定工具的处理)时,就将该状态通知MES,并且MES根据通常Fab特...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。