技术编号:6328937
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及仪器标定,尤其涉及一种数字化仪器标定装置。背景技术1960年,在美国国家宇航局的阿波罗登月计划发展过程中,气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)应运而生,并且很快被研究人员应用于当时刚刚萌芽的半导体制造行业中。多年来,这项技术经历了在外观和性能方面的多种变化。从历史的超过30秒才能完成一个检测点,同时还要忍受误差±30%的手工操作时代,发展到今天的快速、高 精度、高可靠性、自动化、多功能的设备,气体质量流量控制器已...
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