技术编号：6329658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光束控制领域，具体涉及一种大角度的快速反射镜跟踪系统，可用于高精度跟踪系统。背景技术在很多精密的光束校正领域既需要大角度偏转，又需要高精度跟踪，这就需要高闭环带宽、大角度偏转的快速反射镜。通常采用一块快速反射镜很难满足这个要求。这主要因为受限于快速反射镜的驱动机构采用压电陶瓷驱动的镜子响应频率高，可实现高带宽， 但转角有限；采用音圈电机驱动的镜子转角范围大，但是响应频率低，难于实现高带宽。如果将上述2种类型的镜子组合用于光路中，目前的方法是将压电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。