技术编号:6332554
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造,特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的 批量配置文件管理方法。背景技术随着半导体制造行业中需要仿真的设备越来越多,型号不一,对于各种设备的快 速有效的管理成为必不可少的一部分。例如目前的半导体制造业不仅包括设备级的配置文 件,而且还包括系统级以及子系统级的配置文件,因此为了能够对仿真设备配置文件的有 效管理,就需要一个管理软件来对其进行有效的管理。以下就对本发明所采用的一些现有技术进行简单介绍ULINQ TO XMLLINQ to ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。