技术编号:63441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明是一种扫描隧道显微镜的扫描装置,用于扫描隧道显微镜上,具有原子级的分辩率,是纳米技术研究中不可缺少的重要工具。 背景技术扫描装置是扫描隧道显微镜结构中核心的部分。在先技术中,有一种是其中探针为手动调整,针尖与待测样品相逼近的方式是用马达自动驱进,最大扫描范围为6μm,主要的缺点是功能少,安装调试较复杂,操作不方便。 在先技术中,美国有两个公司(Digital Instruments Co.(USA)和ParkInstruments Co.(USA),)提供的扫描装置调整控制全是由计算机自动控制,针...
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