通过迭代的空间谐波阶次截断的计算效率的制作方法技术资料下载

技术编号:6360531

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本发明的实施方式属于光学计量领域,并且更特别地,涉及在生成仿真衍射信号时使用的空间谐波阶次数量的选择,该仿真衍射信号在光栅结构的光学计量测量、处理或仿真中使用。背景技术在过去的几年里,严格耦合波分析(RCWA)和类似的算法已经被广泛用于衍射结构的研究和设计。在RCWA方法中,周期性结构的轮廓(profile)由给定数量的足够薄的平面光栅板(slab)来近似。具体地,RCWA涉及三个主要的步骤,S卩,光栅内部的电场和磁场的傅里叶展开、表征衍射信号的常系数矩阵...
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