技术编号:6360531
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式属于光学计量领域,并且更特别地,涉及在生成仿真衍射信号时使用的空间谐波阶次数量的选择,该仿真衍射信号在光栅结构的光学计量测量、处理或仿真中使用。背景技术在过去的几年里,严格耦合波分析(RCWA)和类似的算法已经被广泛用于衍射结构的研究和设计。在RCWA方法中,周期性结构的轮廓(profile)由给定数量的足够薄的平面光栅板(slab)来近似。具体地,RCWA涉及三个主要的步骤,S卩,光栅内部的电场和磁场的傅里叶展开、表征衍射信号的常系数矩阵...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。