技术编号:63703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 所属技术领域本实用新型属于测头,确切地说是一种微尺寸探针测头。 背景技术微纳米尺度零件的测量需要高精度测头,传统的高精度测量机测头主要分为接触式硬测头、接触式软测头和非接触式(光学)测头。由于接触式测头(包括机械触针式测头)存在接触力等难以克服的缺点,很难进一步提高测量精度;常规非接触式光学测头是未来的发展方向之一,其最大特点是测量力为零,在高精度测量中,测量力所带来的系统误差和随机误差是很大的,而光学非接触式测头到目前为止在技术上还没有突破性进展,由于光线的干涉和衍射现象,其测量精度只在亚微米级;激光技术和...
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